Die von Infineon ausgegliederte und zuletzt arg gebeutelte Speichersparte Qimonda vermeldet heute positive Nachrichten. Das Unternehmen stellte heute seine Roadmap für die DRAM-Herstellung bis ins Jahr 2012 vor. Damit erfährt man einige Details, wie Qimonda bis hinab zu 30 nm Strukturgrößen arbeiten möchte.

Die auffälligste Erkenntnis ist, dass Qimonda die noch unter der Siemens-Flagge segelnd zusammen mit IBM entwickelte Trench-Technik zu den Akten legt. In der Trench-Technik wurde die Kapazität zur Erhaltung der Speicherinformation einer jeden Speicherzelle in einen senkrecht in das Silizium geätzten Graben eingebracht. Zukünftig wird man eine ähnliche Technologie wie andere Hersteller verwenden und die Kapazität oberhalb der Word- und Bitlines stapeln (sog. Stack-Technologie). Allerdings will man die Trenchtechnik weiterhin nutzen und die Wordleitungen dort verstecken, um Platz zu sparen.

Erstmals zum Einsatz kommt dieser Prozess in der 65 nm-Fertigung zur Fertigung von 1 Gb-DRAMS in der zweiten Jahreshälfte 2008. Schritt für Schritt sollen auf dieser Basis bis zu 30 nm minimale Strukturgröße im Jahre 2012 erreicht werden können. Qimonda bezifferte die Flächeneinsparung durch die "Burried Wordline-Technologie auf eine Reduzierung der notwendigen Fläche einer Speicherzelle von 8F² in herkömmlicher Trench-Technik auf 6F² im neuen Design. F ist dabei gemäß den Richtlinien der ITRS die minimale Linienbreite (DRAM 1/2 Pitch). Ab 2011 soll die Zelle dann bei 30 nm Dimensionen nochmals auf 4 F² verkleinert werden. Vorher stehen aber noch Shrinks auf 46 nm und 3x nm an, die ausschließlich in Burried Wordline-Technologie gefertigt werden. Der derzeitige trench-Prozess wird zwar in aktuell 58 nm-Dimensionen noch bis ca. 2010 parallel fortgeführt, läuft dann aber ersatzlos aus.

Unklar bleibt, in wie weit die Fertigung in Dresden in diese Roadmap involviert ist und bleibt. Es bleibt zu hoffen, dass die ambitionierten Pläne aufgehen und Qimonda seine Situation wieder aufbessern kann. Schließlich hat Qimonda für die Umstellung laut eigenen Aussagen 100 Mio Euro in den Geschäftsjahren 2009 und 2010 aufzubringen.


[tm]